數(shù)據(jù)分析

? 支持csv、log、std文件導(dǎo)入

? 可進(jìn)行單個(gè)文件、多個(gè)同類的文件的疊加，實(shí)現(xiàn)正態(tài)分布等圖形化分析，導(dǎo)出excel報(bào)告

? 和MES、EAP連接，自動(dòng)導(dǎo)入計(jì)算CPK、MEAN、STDEV，和參數(shù)的預(yù)定閾值進(jìn)行比較，實(shí)現(xiàn)lot過(guò)站時(shí)的自動(dòng)判定。通過(guò)自動(dòng)化計(jì)算的過(guò)程管控，提高芯片設(shè)計(jì)外包生產(chǎn)的聯(lián)動(dòng)效率和質(zhì)量

map處理

? 支持map格式轉(zhuǎn)換

? 支持map工序的疊加，手工點(diǎn)除

? 支持PAT、GBDN、Cluster等map手動(dòng)和批量處理

? 支持按照wafer id生成測(cè)試報(bào)告